中国科技术语
“光刻机”的概念、技术及其在专利文献中的分布
王晓东
Technology of Lithography Tool and its Distribution in Patent Literatures
WANG Xiaodong
中国科技术语 . 2014, (zk1): 75 -76 .  DOI: 10.3969/j.issn.1673-8578.2014.zk1.029

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