“光刻机”的概念、技术及其在专利文献中的分布

doi:10.3969/j.issn.1673-8578.2014.zk1.029

中国科技术语 ›› 2014, Vol. 16 ›› Issue (zk1): 75-76.doi: 10.3969/j.issn.1673-8578.2014.zk1.029

“光刻机”的概念、技术及其在专利文献中的分布

王晓东

国家知识产权局专利局专利审查协作北京中心,北京 100190

收稿日期:2014-06-28 出版日期:2014-12-30 发布日期:2020-05-26
作者简介:王晓东(1977—),男,江苏苏州人,专利审查助理研究员,研究方向为光学及激光技术。通信方式:wangxiaodong_2@sipo.gov.cn。

Technology of Lithography Tool and its Distribution in Patent Literatures

WANG Xiaodong

Received:2014-06-28 Online:2014-12-30 Published:2020-05-26

摘要/Abstract

摘要： 光刻机技术是大规模集成电路制造领域中的核心技术。文章介绍了光刻机的概念、结构及其简要技术发展历程,并列举和解释了光刻机技术领域的重点技术术语,此外,针对光刻机技术的专利文献查新检索,总结了光刻机技术在专利文献分类中的分布情况。

关键词: 光刻, 光刻机, 专利, IPC分类

Abstract: Lithography tool is a core device used in the manufacture of integrated circuits. The concept, construction and development of lithography tool are introduced in this paper. Several important technical terms are commentated. The distribution of patent literatures concerning the stepper in the IPC classification is proposed for sci-tech novelty retrieval.

Key words: lithography, lithography tool, patent, IPC

中图分类号:

王晓东. “光刻机”的概念、技术及其在专利文献中的分布[J]. 中国科技术语, 2014, 16(zk1): 75-76.

WANG Xiaodong. Technology of Lithography Tool and its Distribution in Patent Literatures[J]. China Terminology, 2014, 16(zk1): 75-76.

[1]	金善科. 无人驾驶汽车的概念及发展[J]. 中国科技术语, 2017, 19(3): 75-78.
[2]	陈嘉佳, 张文平. “PX”的概念及其环保技术专利[J]. 中国科技术语, 2014, 16(zk1): 14-15.
[3]	董妍. “空中鼠标”及其国内专利技术现状[J]. 中国科技术语, 2014, 16(zk1): 16-18.
[4]	彭燕, 孔祥云. 医用内窥镜的概念与分类——以各专利分类体系为视角[J]. 中国科技术语, 2014, 16(zk1): 65-67.
[5]	杜叔亚. 基于数字微镜元件的空间光调制器[J]. 中国科技术语, 2014, 16(zk1): 72-74.
[6]	经志军, 卞喜双. 移动金融的新产物——微信金融的现状和发展[J]. 中国科技术语, 2014, 16(zk1): 108-109.
[7]	吴艳苹, 向薇, 丁冉. 电子皮肤技术及其专利分析[J]. 中国科技术语, 2014, 16(zk1): 113-115.
[8]	丁芃, 陈凯. 浅谈透明显示[J]. 中国科技术语, 2014, 16(zk1): 116-118.
[9]	王欣. 人体安检系统概念及其中运用的技术[J]. 中国科技术语, 2014, 16(zk1): 121-123.
[10]	陈优. 关于专利文件中“明显笔误”的认定[J]. 中国科技术语, 2014, 16(zk1): 164-166.
[11]	李尧, 谢春玲. 专利申请中科技术语不规范问题浅析[J]. 中国科技术语, 2014, 16(zk1): 167-168.
[12]	卞喜双, 经志军. 物联网的明天——微信平台[J]. 中国科技术语, 2014, 16(zk1): 169-170.
[13]	王婷. “专利蟑螂”概念与分析[J]. 中国科技术语, 2014, 16(zk1): 178-179.
[14]	向薇, 吴艳苹, 曹玺. 浅谈“云专利”和“云专利审查”[J]. 中国科技术语, 2014, 16(zk1): 180-182.
[15]	王妍. 浅析负性显影技术[J]. 中国科技术语, 2014, 16(zk1): 183-185.

“光刻机”的概念、技术及其在专利文献中的分布

Technology of Lithography Tool and its Distribution in Patent Literatures

PDF (PC)

可视化

摘要/Abstract

引用本文

使用本文

参考文献

相关文章 15

编辑推荐

Metrics

本文评价